在封裝工藝中等離子表面處理能做什么?
文章導(dǎo)讀:等離子表面處理行業(yè)封裝生產(chǎn)的流程中有巨大的影響力,可以快速的清理芯片材料的污染物,提高生存速度,同時(shí)工藝也有簡(jiǎn)單、可控、無(wú)污染、安全等特點(diǎn)!
隨著半導(dǎo)體等電子行業(yè)的快速發(fā)展,其相關(guān)產(chǎn)業(yè)也在快速的進(jìn)步,等離子表面處理行業(yè)就是其中的代表之一;它在封裝生產(chǎn)的流程中有巨大的影響力,可以快速的清理芯片材料的污染物,提高生存速度,同時(shí)工藝也有簡(jiǎn)單、可控、無(wú)污染、安全等特點(diǎn)!
等離子表面處理的核心就是等離子體在反應(yīng)中會(huì)生成各種活性離子,它能與物體表面的微觀(guān)污染物進(jìn)行反應(yīng),將它們清理帶走,效果非常出色,但是需要精密的控制,一旦失誤產(chǎn)品表面容易發(fā)生氧化。
在封裝的領(lǐng)域中,硅片的減薄技術(shù)主要有磨削、研磨、化學(xué)機(jī)械拋光、干式拋光、電化學(xué)腐蝕、等離子增強(qiáng)化學(xué)腐蝕、濕法腐蝕以及常壓等離子腐蝕等。芯片貼裝的方式主要有共晶貼片、導(dǎo)電膠貼片、焊接貼片以及玻璃膠貼片4種。芯片互連常見(jiàn)的方法主要有打線(xiàn)鍵合、載在自動(dòng)鍵合(Tape Automate Bonding,TAB)以及倒裝芯片鍵合。而在等離子表面處理,廣泛使用40kHz、13.56MHz、2.45GHz等頻率,整個(gè)過(guò)程只有物理反應(yīng)沒(méi)有化學(xué)反應(yīng);但是,40kHz 的等離子體會(huì)改變被清潔表面性質(zhì),因此實(shí)際封裝生產(chǎn)應(yīng)用中大多用13.56MHz 的等離子表面處理和 2.45GHz 的等離子表面處理。封裝工藝會(huì)直接影響產(chǎn)品的良品率,等離子表面處理工藝可以在流程中提供幫助,防止包封分層、提高焊線(xiàn)質(zhì)量、增加鍵合強(qiáng)度等,提高良品率,降低損耗,節(jié)約成本!



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