等離子體清洗機探針參數(shù)分析為什么復(fù)雜？如何優(yōu)化？

來源：普樂斯瀏覽：次發(fā)布日期：2020-04-26 09:20【大中小】

文章導(dǎo)讀：用于等離子體清洗機的等離子體參數(shù)測量和診斷的探針分析，是使用簡單的一種等離子診斷方式，但這一方法也有其復(fù)雜性，為什么說起復(fù)雜？在實際操作中又該如何優(yōu)化呢？普樂斯等離子體清洗機介紹。

用于等離子體清洗機的等離子體參數(shù)測量和診斷的探針分析，是使用簡單的一種等離子診斷方式，但這一方法也有其復(fù)雜性，為什么說起復(fù)雜？在實際操作中又該如何優(yōu)化呢？普樂斯等離子體清洗機介紹。

為了減少探針對等離子體的干擾，方便探針的制作，探針一般會選擇一根半徑為a<λDe的細(xì)導(dǎo)線。因而在確定探針收集到的電流時，務(wù)必了解帶電粒子在其鞘層內(nèi)的運動路徑，這導(dǎo)致探針分析變的相當(dāng)復(fù)雜。當(dāng)探針電壓遠(yuǎn)高或遠(yuǎn)低于等離子體電位時，其鞘層寬度將增加，而且有效收集面積也隨之增加。

此外結(jié)構(gòu)更為復(fù)雜的雙探針和發(fā)射探針，已經(jīng)被證明在許多情況下都是非常有用的。在射頻驅(qū)動的等離子體清洗機中，等離子體電位的振蕩也使得分析更加復(fù)雜。因為我們一般希望以準(zhǔn)靜電方式使用探針，所以通常使探針偏壓隨等離子體電位一起振蕩，以消除低溫等離子表面處理機電位振蕩對探針測量的影響。

那么等離子體清洗機探針分析結(jié)果該如何優(yōu)化呢？在探針測量的理論中，通常假設(shè)等離子體中的電子具有麥克斯韋分布。但是，在許多情況下，電子會偏離麥克斯韋分布。因此通常測量電子能量分布函數(shù)，則可將其直接用于的低溫等離子表面處理機的等離子體密度的計算中。

將由探針離子飽和電流計算得到的等離子體密度與使用其他測量技術(shù)得到的結(jié)果展開比較，可以發(fā)現(xiàn)在某些放電條件下，由微波測量得出等離子體密度更準(zhǔn)確，由探針離子飽和電流測得的密度一般比微波測出的結(jié)果高一些。殊不知在許多情況下，用探針和微波技術(shù)測得的密度是很貼近的。使用離子飽和電流測量等離子體密度的精度關(guān)鍵在于在探針鞘層邊界處的電子分布是不是貼近于麥克斯韋分布，因而與所診斷的等離子體類型有關(guān)。

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