普樂斯等離子清洗設備行業(yè)觀察，中芯14nm提前一年量產
文章導讀：普樂斯等離子清洗設備行業(yè)觀察，中芯南方集成電路制造有限公司即中芯南方廠，位于上海市浦東張江哈雷路，這里有國內第1條14nm工藝生產線，在去年第3季度就已開始成功量產14nmFinFET，成為中國內地zui先進的集成電路生產基地。
普樂斯等離子清洗設備行業(yè)觀察，中芯南方集成電路制造有限公司即中芯南方廠，位于上海市浦東張江哈雷路，這里有國內第1條14nm工藝生產線，在去年第3季度就已開始成功量產14nmFinFET，成為中國內地zui先進的集成電路生產基地。
根據2014年發(fā)布的《國家集成電路產業(yè)發(fā)展推進綱要》：到2020年，16/14nm工藝要完成規(guī)模量產，封裝測試技術做到全球ling先地位，核心裝備和材料進到全球采購體系，基本上建成技術先進、安全可靠的集成電路產業(yè)體系。
據悉，中芯從2015年開始研發(fā)14nm，現階段良品率現已做到95％。另據披露，中芯的12nm工藝已開始客戶導入，官方稱比14nm功耗降低20％、性能提升10％、錯誤率降低20％，而下一代工藝的研發(fā)也已穩(wěn)步開展。
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