真空等離子清洗機(jī)的腔體大小和進(jìn)氣方式對均勻性有何影響？

來源：昆山普樂斯瀏覽：次發(fā)布日期：2018-08-11 20:48【大中小】

文章導(dǎo)讀：?影響真空等離子清洗機(jī)均勻性的因素很多，包括腔體大小、進(jìn)氣方式、電極結(jié)構(gòu)、電源頻率、氣體流量、功率大小等等，今天普樂斯的小伙伴來談?wù)勄惑w大小和進(jìn)氣方式對均勻性的影響，僅供參考：

1、真空等離子清洗機(jī)腔體的容積越大，均勻性越難掌控，尤其對電源的選擇要慎重。普樂斯可根據(jù)客戶產(chǎn)品規(guī)格和產(chǎn)量進(jìn)行定制等離子清洗機(jī)，自10L以上都可進(jìn)行個性化的設(shè)計。但如等離子發(fā)生器只選用13.56MHz的RF電源，那么建議盡量控制在600L以內(nèi)，腔體越大所需的RF電源功率就越大；尤其是使用3000W及以上功率，則建議使用美國AE、MKS或其他進(jìn)口的RF電源，成本相對較高，但穩(wěn)定可靠。如處理的產(chǎn)品對均勻性要求高，建議使用40KHz的中頻電源或?qū)⒄婵涨惑w控制在100L以內(nèi)。

2、普樂斯等離子清洗設(shè)備使用前進(jìn)氣后排氣的方式，經(jīng)過測試這種均勻性相對較好。腔體內(nèi)的進(jìn)氣管通常用鋁管，將鋁管彎折并焊接成類似方形結(jié)構(gòu)并在鋁管上開孔，開孔位置在兩層電極板的中間，保證每層處理空間都有獨立的進(jìn)氣品。如下圖所示：

大腔體設(shè)備的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)會有所變化，具體結(jié)構(gòu)還要看腔體大小，下圖為其中一種結(jié)構(gòu)：

以上關(guān)于腔體大小和進(jìn)氣方式對等離子均勻性的影響描述對您有什么啟發(fā)？您有什么異議或更好的想法，歡迎大家留言與我們交流和分享。

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