真空等離子表面處理系統(tǒng)常用的電極饋入方式介紹
文章導(dǎo)讀：談及真空等離子表面處理系統(tǒng)的電極放電形式，大家通常都會(huì)反映出CCP 容性耦合等離子體放電，CCP形式是目前真空等離子清洗機(jī)上應(yīng)用較為普遍的一種電極放電形式，其中又以兩類電極饋入方式為主。
談及真空等離子表面處理系統(tǒng)的電極放電形式，大家通常都會(huì)反映出CCP 容性耦合等離子體放電，CCP形式是目前真空等離子清洗機(jī)上應(yīng)用較為普遍的一種電極放電形式，其中又以兩類電極饋入方式為主。今天普樂(lè)斯就簡(jiǎn)單介紹一下這兩類電極饋入方式。
第1種相對(duì)更常見(jiàn)一些，主要是通過(guò)定做的銅棒與聚四氟乙烯材質(zhì)的絕緣件相配合的方式饋入到真空等離子表面處理系統(tǒng)的真空腔體內(nèi)，將銅棒與連接排連接在一起。此外，真空等離子清洗機(jī)設(shè)備的電極板上也要安裝對(duì)應(yīng)的連接件。
連接的方式可以是插針公母頭連接、銅片與彈片配合連接、連接排與電極板利用銅帶與螺絲鎖定進(jìn)行連接，以上三種連接方式中，又以插針公母頭連接更為常見(jiàn)，下圖為該方式的示意圖，其他的兩種連接方式也只是在腔體內(nèi)部有所差別。
另外一種饋入方式比較適合用在水冷電極結(jié)構(gòu)的連接上，即是在將連接棒焊接在電極板上，通過(guò)定做的絕緣套與焊接的連接棒相互配合，連接到腔體之外；在真空腔體之外再使用導(dǎo)電排將其連接在一起，之后再與等離子發(fā)生器的輸出連接在一起。如果確認(rèn)真空等離子處理設(shè)備需使用水冷電極結(jié)構(gòu)，那么，所焊接的連接棒為中空結(jié)構(gòu)，這樣設(shè)計(jì)就能夠中通水、連接棒外接射頻。具體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)需根據(jù)實(shí)際的要求決定和優(yōu)化。下圖舉例了簡(jiǎn)單的連接示意圖，實(shí)際的連接結(jié)構(gòu)會(huì)存在差異，下圖僅方便大家理解。
以上就是關(guān)于真空等離子表面處理系統(tǒng)的CCP式電極饋入的兩種方式介紹。您還見(jiàn)過(guò)那些電極的饋入方式或者有好的想法，歡迎大家留言與我們交流和分享。普樂(lè)斯電子9年專注研制各類常壓大氣及低壓真空等離子清洗機(jī)，等離子表面處理設(shè)備，已通過(guò)ISO9001質(zhì)量體系和歐盟CE認(rèn)證，為電子、半導(dǎo)體、汽車、yi療等領(lǐng)域的客戶提供清洗，活化，刻蝕，涂覆的等離子表面處理解決方案，是行業(yè)內(nèi)值得信賴的等離子清洗機(jī)廠家。如果您想要了解更多關(guān)于產(chǎn)品的詳細(xì)內(nèi)容或在設(shè)備使用中有疑問(wèn)，歡迎點(diǎn)擊普樂(lè)斯的在線客服進(jìn)行咨詢，或者直接撥打全國(guó)統(tǒng)一服務(wù)熱線400-816-9009，普樂(lè)斯恭候您的來(lái)電！
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