等離子體清洗機(jī)不同激發(fā)頻率的特點(diǎn)？
文章導(dǎo)讀：等離子體的功率吸收主要由兩個(gè)粒子完成，一個(gè)是電子，一個(gè)是離子（主要是正離子）。
中頻放電過(guò)程中，中頻電源直接輸出到電極板的電壓高，產(chǎn)生的負(fù)自偏壓導(dǎo)致了無(wú)謂的正離子的功率吸收，也直接導(dǎo)致了電極板的溫升；正由于離子吸收了部分功率，用于電離的電子的功率吸收相應(yīng)降低，這就引起了等離子體密度的低下。
射頻放電（容性耦合方式）過(guò)程中，電極板產(chǎn)生的自偏壓受到放電氣壓的影響，大致位于幾十V到幾百V的區(qū)間，電子的功率吸收主要來(lái)自于與電極板表面的振蕩鞘層相互作用中獲得的。所以，射頻頻率越高（如40.68MHz），電子獲得的功率吸收相對(duì)較高，離子的轟擊能量就會(huì)降下來(lái)。
射頻放電（感應(yīng)耦合方式）過(guò)程中，由于不涉及到電極，它是通過(guò)電磁感應(yīng)的方式實(shí)現(xiàn)功率耦合的，電子從渦旋電場(chǎng)中獲得能量，而離子能量很低（小于10V），等離子體密度高，屬于無(wú)極放電的范疇。
微波放電有兩種方式，表面波型和電子回旋共振型，商業(yè)用于清洗的一般都屬于表面波型，其工作模式是通過(guò)輻射微波電磁場(chǎng)直接將氣體擊穿實(shí)現(xiàn)放電，顯然，沒(méi)有離子的加速作用，因而其電子密度較高，但一般要求放電氣壓高。而放電氣壓高帶來(lái)的問(wèn)題是等離子體局域化比較嚴(yán)重，縱深清洗比較差，也不利于多層面的大尺度的清洗處理，另外，微波電磁場(chǎng)對(duì)電子元器件多多少少會(huì)有電磁輻射作用，有可能會(huì)造成電子元器件的擊穿損傷。
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【本文標(biāo)簽】：電子，離子，等離子清洗機(jī)，頻率的特點(diǎn)
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