實(shí)驗(yàn)型等離子清洗機(jī) 小型真空等離子處理設(shè)備PLAUX-PR-10L
高效徹底:能夠深入微納米級(jí)孔隙中,徹底清除難以觸及的污染物。
環(huán)保節(jié)能:無(wú)需使用化學(xué)溶劑,減少?gòu)U水廢氣排放,符合綠色生產(chǎn)要求,且能耗低。
廣泛適用:適用于多種材料表面,包括金屬、陶瓷、玻璃、塑料等,不會(huì)對(duì)材料性能產(chǎn)生負(fù)面影響。
工藝可控:通過(guò)調(diào)整工作氣體種類、壓力、功率等參數(shù),可精確控制清洗過(guò)程。
產(chǎn)品特點(diǎn)
產(chǎn)品參數(shù)
RF電源輸出電壓 0--500V
RF電源輸出電壓頻率 13.56MHz
RF電源輸出功率 0-600W
輸出過(guò)載電流 5A
放電真空度 30-80Pa
可加載氣體 氬氣(Ar)、氧氣(O2)等,可同時(shí)接通2種氣體
工作原理
應(yīng)用領(lǐng)域
微電子與半導(dǎo)體行業(yè):用于晶圓清洗、封裝前處理等,提高芯片良率和可靠性。
航空航天領(lǐng)域:用于精密部件的表面清潔,保障飛行安全和性能表現(xiàn)。
生物醫(yī)藥行業(yè):用于醫(yī)療器械、植入物、生物材料的表面改性,提高產(chǎn)品的生物相容性和安全性。
榮譽(yù)資質(zhì)
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