【普樂斯】半導體等離子表面處理設備 VPC-400T
品牌：普樂斯
名稱：半導體等離子表面處理設備
型號： VPC-400T
功率： 整機峰值功率30KW
用途：用于不同材料的表面處理、適合于半導體行業(yè)
訂購熱線：400-816-9009
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產(chǎn)品特點
v觸摸屏操作界面
v數(shù)字及圖標多重工藝參數(shù)實時顯示
v蜂鳴器+紅色指示燈報警功能
v自動/手動操作模式切換
v可存儲多套工藝配方
v可按客戶要求進行定制
v數(shù)字及圖標多重工藝參數(shù)實時顯示
v蜂鳴器+紅色指示燈報警功能
v自動/手動操作模式切換
v可存儲多套工藝配方
v可按客戶要求進行定制
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產(chǎn)品參數(shù)
| 型號 | CPC-400T | VPC-400T | |
| 控制系統(tǒng) | 控制方式 | 全自動控制（自動/手動切換） | |
| PLC | |||
| 操作系統(tǒng) | Windows 10 | ||
| 觸摸屏 | 15寸 | ||
| 整機規(guī)格 | 尺寸 | W1000×D1650×H1650mm | |
| 腔體 | 尺寸 | Φ280×D550mm | |
| 材質(zhì) | 316不銹鋼（標配）/鋁合金（可選） | ||
| 料道 | 料道數(shù)量 | 4個 | |
| 料道寬度 | 30-80mm（可任意調(diào)節(jié)） | ||
| 料道長度 | 100-2600mm（可任意調(diào)節(jié)） | ||
| UPH | 300-500片/小時（清洗10秒，可根據(jù)工藝要求設置） | ||
| 真空計 | 皮拉尼式真空計 | 1個 | |
| 流量計 | MFC+浮子流量計 | 1路MFC，1路浮子流量計；Ar、N2、O2（可選） | |
| 真空泵 | 機械油式旋片泵 | 1套 | |
| 發(fā)生器 | 中頻/射頻 | 40KHz，0~500W | 13.56MHz，0~150W |
| 額定功率 | 整機峰值功率 | 30KW | |
| 機臺供電 | 單相三線式 | AC-3800V | |
| 選購品 | 干式泵、氣浴電極（打孔）、托架、接枝氣化儀、防腐密封、腔體加熱、加熱盤、溫度傳感器、H2安全閥、慢速泄氣閥、慢速抽氣閥、鋼瓶減壓閥、水冷電極、冰水機、模溫機、非標法蘭、陶瓷緊固件 | ||
注：以上參數(shù)僅供參考，本公司可能對相關(guān)產(chǎn)品參數(shù)進行調(diào)整，如有變動，恕不再另行通知。若有不明處，歡迎來電詢問。
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工作原理
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應用領域
v用于不同材料的表面處理
v適合于半導體行業(yè)生產(chǎn)線
v適合于半導體行業(yè)生產(chǎn)線
快速反應，專業(yè)配合，精心打造服務生態(tài)鏈
1年質(zhì)保，終身維護，提供配套服務
承諾到達現(xiàn)場的時限：昆山4小時，蘇州8小時，江浙滬24小時，其他區(qū)域48小時
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榮譽資質(zhì)
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